技术描述
晶澈 PFA 专用（SP-Clear PFA）是圣普化学晶澈半导体清洗系列中针对 PFA / PTFE / Teflon 材质 Cassette（晶舟盒）与清洗篮的强碱清洗液，适用 PFA / PTFE / PVDF 材质载具。产品为无色至微黄透明浓缩液，按 1:9（浓缩液 : DI 水）稀释，1 份浓缩液加 9 份 DI 水搅匀得 10 份工作液。
工作液 pH 12.8–13.2，属强碱体系，PFA 材质完全耐受；推荐工作温度 70–100℃，处于 PFA 160℃ 耐温范围内且有充分余量；清洗时间 5–15 分钟，可视污染程度调整，喷淋、浸泡、超声波三种方式均适用。去除谱系：光刻胶残留（强碱水解）优秀、有机污染物（高温强碱 + FMEE）优秀、颗粒（螯合剂分散）优秀、硅油与油脂（强碱皂化）优秀，金属离子经 EDTA + 葡萄糖酸钠螯合体系去除良好。
⚠️ 本品为强碱（pH≈13），操作必须佩戴防护手套、护目镜与防护服，避免接触皮肤和眼睛——严重腐蚀性；如接触皮肤立即用大量清水冲洗 15 分钟，如不慎入眼立即用清水冲洗并就医；避免与酸类物质混合（产生放热反应）；废液中和后按法规排放。⚠️ 不适用于 PC / 铝 / 铜材质。包装为 5 / 25 / 200 KG 桶装；因强碱会吸收 CO₂，须密封存放，原封保质期 6 个月。
产品简介
SP-Clear PFA 是晶澈半导体清洗系列的 PFA 专用产品，专为 PFA / PTFE / PVDF 材质 Cassette（晶舟盒 / 清洗篮）设计，走强碱高温路线。 产品工作液 pH 12.8–13.2，工作温度 70–100 ℃。PFA 类氟塑料耐温上限 160 ℃、pH 1–14 全耐受，因此本品可放心使用热碱、高温与超声波等更激进的清洗条件，去污力上限显著高于 FOUP 用温和体系。
核心价值：在氟塑料载具完全耐受的前提下，把光刻胶残留、有机污染、硅油油脂与颗粒一次性清干净。
对标 Entegris / FUJIFILM 同类产品。
产品用途
| 项目 | 说明 |
|---|---|
| 适用材质 | PFA / PTFE / PVDF 材质 Cassette 及晶舟盒（8" / 12"，13 / 25 slot） |
| 产品定位 | 湿法制程载具（酸碱槽）强碱高温清洗 |
⚠ 不适用于 PC / 铝 / 铜材质（强碱会腐蚀）。
| 清洗方式 | 适配性 |
|---|---|
| 喷淋 | ✅ 完全适配 |
| 浸泡 | ✅ 完全适配 |
| 超声波 | ✅ 完全适配 |
| 污染物类型 | 去除效果 |
|---|---|
| 光刻胶残留 | ✅ 优秀 |
| 有机污染物 | ✅ 优秀 |
| 硅油 / 油脂 | ✅ 优秀 |
| 颗粒 | ✅ 优秀 |
| 金属离子 | ✅ 良好 |
PFA Cassette 大量用于湿制程的酸碱槽承载，属高频使用载具，表面同时累积光刻胶残留、有机污染、硅油油脂与颗粒等多类污染物且层层叠加。PFA 对化学品几乎全耐受（pH 1–14、耐温 160 ℃），载具并不需要被"保护"，需要的是足够激进的化学能力——热碱高温正好能把水解、皂化与分散三种机制同时打开。
作用原理
| 作用 | 说明 |
|---|---|
| ① 强碱水解 | 工作液 pH 12.8–13.2，将光刻胶类高分子残留水解为可溶小分子，随工作液带走 |
| ② 高温皂化 | 70–100 ℃ 下硅油与油脂类污染物发生皂化反应转化为可溶皂类，脱离载具表面 |
| ③ 分散与离子锁定 | 表面活性体系提供润湿与分散，离子控制组分锁定已剥离的金属离子与颗粒 |
技术参数
| 项目 | 指标 | 说明 |
|---|---|---|
| 外观 | 无色至微黄透明液体（浓缩液） | — |
| 浓缩倍数 | 10X | — |
| 稀释比例 | 1 : 9（浓缩液 : DI 水） | 1 份浓缩液 + 9 份 DI 水 = 10 份工作液 |
| pH 值 | 12.8 – 13.2 | 强碱性，PFA 完全耐受 |
| 工作温度 | 70 – 100 ℃ | PFA 耐温 160 ℃，余量充分 |
| 清洗时间 | 5 – 15 min | 视污染程度调整 |
| 清洗方式 | 喷淋 / 浸泡 / 超声波 | 不限清洗方式 |
| 保质期 | 6 个月（原封） | 强碱产品保质期相对较短 |
使用说明
| 稀释比例 | 操作 | 所得工作液量 |
|---|---|---|
| 1 : 9（浓缩液 : DI 水） | 1 份浓缩液 + 9 份 DI 水，搅拌均匀 | 10 份工作液 |
稀释示例： 5 kg 浓缩液 + 45 kg DI 水 = 50 kg 工作液（1 桶浓缩液配 9 桶 DI 水）。
- 1SP-Clear PFA 浸泡 / 喷淋清洗（70–100 ℃，5–15 min）
- 2DI 水漂洗（2–4 次，至 pH 呈中性）
- 3干燥（热风 / N₂）
- ·配液须为浓缩液加入水中稀释，切勿反向操作；稀释用水为 DI 水
- ·配液与储存须密封——强碱会吸收空气中 CO₂ 而降低有效碱度，建议现配现用
- ·投入载具前必须确认材质为 PFA / PTFE / PVDF，严禁用于 PC / 铝 / 铜材质
漂洗须做至出水 pH 呈中性，避免碱残留带入后续制程。
注意事项与安全
| 类别 | 说明 |
|---|---|
| ⚠ 腐蚀性 | 强碱性（pH 13），具腐蚀性，操作必须佩戴防护手套、护目镜与防护服 |
| 皮肤接触 | 如接触皮肤，立即用大量清水冲洗至少 15 分钟 |
| 不慎入眼 | 立即用大量清水冲洗并就医 |
| 禁配物质 | 避免与酸类混合——会放热，存在喷溅风险 |
| 高温操作 | 温度可达 100 ℃，取放载具须用防护器具，注意防烫 |
| 废液处理 | 废液须中和后按当地环保法规排放 |
包装与储存
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 包装规格 | 桶装 5 kg / 25 kg / 200 kg |
| 订货号 | SCP-PFA-05 / SCP-PFA-25 / SCP-PFA-200 |
| 储存条件 | 密封存放，避免敞口（强碱会吸收空气中 CO₂） |
| 储存温度 | 5 – 35 ℃ |
| 保质期 | 6 个月（原封） |
产品优势
去污力上限高
同时打开水解、皂化与分散三种机制，对光刻胶残留、有机污染、硅油油脂均达优秀档
方式不受限
喷淋 / 浸泡 / 超声波三种方式全部适配，可按现有产线自由选择
高浓缩比
10X 浓缩液，1:9 稀释即用，物流与仓储更经济
温度余量充足
工作温度 70–100 ℃，PFA 耐温上限 160 ℃，安全边际大
附：晶澈（SP-Clear）系列对照
| 型号 | 名称 | 定位 |
|---|---|---|
| SP-Clear PreWash | 晶澈预洗型 | FOUP/FOSB 颗粒预清洗 |
| SP-Clear Organic | 晶澈有机去除型 | 有机残留去除 |
| SP-Clear HighTemp | 晶澈高温型 | PEI ESD 高温载具 |
| SP-Clear PFA | 晶澈 PFA 专用 | PFA / PTFE 载具（本款） |
| SP-Clear Mask | 晶澈光罩专用 | 光罩盒，防 Haze |
本资料所载技术参数基于本公司内部测试与行业公开标准整理，实际使用效果受现场工艺条件影响，具体选型请以实测数据为准。
对标信息基于公开产品资料整理，仅用于说明产品定位，不构成对第三方产品的评价或比较结论。
产品安全与使用要求以随货提供的 MSDS 为准。
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