GE-K1

GE-K1 是用于 TGV 玻璃通孔成孔的蚀刻产品，配合「飞秒激光改性 + 热碱选择性蚀刻」路线：先用超快脉冲激光在玻璃上改性出高能区，再以 110 ℃ 热碱液选择性蚀刻改性区，把改性区掏空成通孔，本体玻璃几乎不蚀。 该路线的最大特点是不使用剧毒含氟酸。业界另一主流含氟路线剧毒管控与职业健康负担重；热碱路线在安全可控性、废液处理难度、现场管理负担上优势明显，同时锥角表现良好（taper < 1°，对标 RENA 碱性蚀刻方案）。

核心价值：用「安全 + 选择性」两条腿切入 TGV 成孔——无剧毒含氟酸、本体玻璃几乎不蚀、无需侧壁保护。

TGV 成孔既要「打得快」（改性区蚀刻速率高），又要「不伤本体」（本体玻璃蚀刻近零），二者靠同一套体系的选择比实现。GE-K1 利用激光改性区与本体玻璃之间数十倍的蚀刻速率差：改性区快速掏空，未改性区几乎不蚀，因此无需额外侧壁保护层，工序更短、孔径一致性更好。

50:1），改性区在热碱液中迅速掏空成孔，本体玻璃几乎不蚀 |

50:1（本体玻璃 < 0.1 μm/min）

110 ± 5 ℃ 热碱工作液，激光改性后玻璃基板浸泡 10 – 60 min （蚀刻速率取决于激光改性损伤度，须按客户激光参数实测标定） → 取出：热水冲洗（去除表面碱液） → 稀酸中和 1 – 2 min → 去离子水冲洗 ×3 → 超声清洗（与后段 TGV 清洗剂衔接）→ 干燥

• ·配液铁律：碱入水——缓慢把碱加入水中并搅拌散热，严禁「水入碱」（会沸腾喷溅）；配液桶建议带冷却
• ·设备材质限制：槽体、管路与夹具使用 PP / HDPE / PTFE / 哈氏合金；严禁铝、锌、玻璃、陶瓷材质容器（会被碱蚀）
• ·加热建议用 PTFE 加热器或夹套加热，禁止金属加热棒直接浸入槽液
• ·蚀刻后必须中和（稀酸 1 – 2 min）后再水洗，避免残留结晶污染后续工序
• ·蚀刻速率依客户激光改性参数变化，送样前建议与我方共同标定「速率 – 浓度 – 选择性」参数

高深径比结构建议配合超声或槽液循环，保证孔内药液交换；首次使用建议先小批量试产。

对标进口碱性蚀刻方案（如 RENA 碱性蚀刻），药液单列采购、不绑定设备