
技术描述
晶澈有机去除型 · 微碱清洗剂(SP-Clear Organic)是圣普化学面向各类 FOUP/FOSB 有机污染场景开发的载具/晶圆产品——面向精密制程的清洗化学品。技术性能对标Entegris ACM 系列,提供国产化替代方案。核心卖点:FOUP 有机残留(胶/油/有机物)强效去除。
适用材质为各类 FOUP/FOSB,典型应用覆盖各类 FOUP/FOSB 有机污染。
服务于半导体制造与先进封装产线的良率与洁净度需求。
产品简介
晶澈有机去除型 · 微碱清洗剂(SP-Clear Organic)是圣普化学面向各类 FOUP/FOSB 有机污染开发的载具/晶圆产品。产品核心优势:FOUP 有机残留(胶/油/有机物)强效去除。技术上对标Entegris ACM 系列,提供国产化替代选择。产品特点:经溶解度参数匹配验证(RED<0.6),对胶/油/有机物渗透溶解力强。适用材质:各类 FOUP/FOSB。典型工艺:55-75°C。
产品参数速览
对标竞品
Entegris ACM 系列
适用场景
各类 FOUP/FOSB 有机污染
适用材质
各类 FOUP/FOSB
产品特点
经溶解度参数匹配验证(RED<0.6),对胶/油/有机物渗透溶解力强
工艺参数与使用说明
55-75°C
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