Technical Description
TGV 弱碱喷淋清洗剂（TGV-CS1）是圣普化学面向TGV 玻璃基板场景开发的TGV/制程产品——面向精密制程的清洗化学品。技术性能对标帕卡 PK-LCG255 同类（碱性路线），提供国产化替代方案。核心卖点：蚀刻后表面/CMP 后清洗，兼容含氟蚀刻残留。
主要适用材质/对象：TGV 玻璃基板。
服务于半导体制造与先进封装产线的良率与洁净度需求。
Introduction
TGV 弱碱喷淋清洗剂 (TGV-CS1) is developed by SEMPURION for TGV 玻璃基板 as a TGV/制程 product.Key advantage: 蚀刻后表面/CMP 后清洗，兼容含氟蚀刻残留. Benchmarked against 帕卡 PK-LCG255 同类（碱性路线） as a domestic alternative. Key features: 弱碱短时接触不使玻璃表面起雾（haze）. Typical process: 45-55°C 喷淋（1-2 bar）3-5min，DI 水冲洗 2-3 次.
Quick Specs
Benchmark
帕卡 PK-LCG255 同类（碱性路线）
Application
TGV 玻璃基板
Materials
TGV 玻璃基板
Features
弱碱短时接触不使玻璃表面起雾（haze）
Process & Usage
45-55°C 喷淋（1-2 bar）3-5min，DI 水冲洗 2-3 次
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