
Technical Description
ITO 蚀刻液(ITO-E1)是圣普化学面向ITO 玻璃场景开发的蚀刻/剪薄产品——用于精密图形化加工的蚀刻/显影化学品。技术性能对标帕卡 Parker / 芝普 ITO 蚀刻液,提供国产化替代方案。核心卖点:ITO 图形化蚀刻,面板/触控。
主要适用材质/对象:ITO 玻璃。
服务于显示面板/模组制程的清洗、蚀刻与返修工序。
Introduction
ITO 蚀刻液 (ITO-E1) is developed by SEMPURION for ITO 玻璃 as a 蚀刻/剪薄 product.Key advantage: ITO 图形化蚀刻,面板/触控. Benchmarked against 帕卡 Parker / 芝普 ITO 蚀刻液 as a domestic alternative. Key features: 有机酸系主推——厂商,专利与学术资料多方印证的行业主流路线:无氯,无金属离子污染,对玻璃 / 光阻 / 黑矩阵选择性出色(ITO 对光阻选择比 >10:1),环保安全,已大规模替代传统无机强酸蚀刻路线,工作浓度落在行业商品规格常用窗口,客户端无需调整即可导入,另备经典无机酸快速方案,蚀刻速率高 2~3 倍,供快速产线选用,可按客户 ITO 晶型提供速率曲线标定服务(非晶 / 多晶蚀刻速率差异大,标定后方可稳定量产). Typical process: 方案 A:40~45°C 蚀刻速率 30~60nm/min(建议按 30~50nm/min 验收,方案 B:30~40°C 快蚀 30~90s,蚀刻后须充分漂洗去除残余离子,玻璃无发蒙(30min 失重 <0.01%),含铟 / 锡废液按危废管理.
Quick Specs
Features
有机酸系主推——厂商,专利与学术资料多方印证的行业主流路线:无氯,无金属离子污染,对玻璃 / 光阻 / 黑矩阵选择性出色(ITO 对光阻选择比 >10:1),环保安全,已大规模替代传统无机强酸蚀刻路线,工作浓度落在行业商品规格常用窗口,客户端无需调整即可导入,另备经典无机酸快速方案,蚀刻速率高 2~3 倍,供快速产线选用,可按客户 ITO 晶型提供速率曲线标定服务(非晶 / 多晶蚀刻速率差异大,标定后方可稳定量产)
Process & Usage
方案 A:40~45°C 蚀刻速率 30~60nm/min(建议按 30~50nm/min 验收,方案 B:30~40°C 快蚀 30~90s,蚀刻后须充分漂洗去除残余离子,玻璃无发蒙(30min 失重 <0.01%),含铟 / 锡废液按危废管理
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