ITO 蚀刻液
显示模组蚀刻/剪薄

ITO-E1

ITO 蚀刻液

ITO 图形化蚀刻,面板/触控

技术描述

ITO 蚀刻液(ITO-E1)是圣普化学面向ITO 玻璃场景开发的蚀刻/剪薄产品——用于精密图形化加工的蚀刻/显影化学品。技术性能对标帕卡 Parker / 芝普 ITO 蚀刻液,提供国产化替代方案。核心卖点:ITO 图形化蚀刻,面板/触控。

主要适用材质/对象:ITO 玻璃。

服务于显示面板/模组制程的清洗、蚀刻与返修工序。

产品简介

ITO 蚀刻液(ITO-E1)是圣普化学面向ITO 玻璃开发的蚀刻/剪薄产品。产品核心优势:ITO 图形化蚀刻,面板/触控。技术上对标帕卡 Parker / 芝普 ITO 蚀刻液,提供国产化替代选择。产品特点:有机酸系主推——厂商,专利与学术资料多方印证的行业主流路线:无氯,无金属离子污染,对玻璃 / 光阻 / 黑矩阵选择性出色(ITO 对光阻选择比 >10:1),环保安全,已大规模替代传统无机强酸蚀刻路线,工作浓度落在行业商品规格常用窗口,客户端无需调整即可导入,另备经典无机酸快速方案,蚀刻速率高 2~3 倍,供快速产线选用,可按客户 ITO 晶型提供速率曲线标定服务(非晶 / 多晶蚀刻速率差异大,标定后方可稳定量产)。典型工艺:方案 A:40~45°C 蚀刻速率 30~60nm/min(建议按 30~50nm/min 验收,方案 B:30~40°C 快蚀 30~90s,蚀刻后须充分漂洗去除残余离子,玻璃无发蒙(30min 失重 <0.01%),含铟 / 锡废液按危废管理。

产品参数速览

对标竞品
帕卡 Parker / 芝普 ITO 蚀刻液
适用场景
ITO 玻璃
适用材质
ITO 玻璃

产品特点

有机酸系主推——厂商,专利与学术资料多方印证的行业主流路线:无氯,无金属离子污染,对玻璃 / 光阻 / 黑矩阵选择性出色(ITO 对光阻选择比 >10:1),环保安全,已大规模替代传统无机强酸蚀刻路线,工作浓度落在行业商品规格常用窗口,客户端无需调整即可导入,另备经典无机酸快速方案,蚀刻速率高 2~3 倍,供快速产线选用,可按客户 ITO 晶型提供速率曲线标定服务(非晶 / 多晶蚀刻速率差异大,标定后方可稳定量产)

工艺参数与使用说明

方案 A:40~45°C 蚀刻速率 30~60nm/min(建议按 30~50nm/min 验收,方案 B:30~40°C 快蚀 30~90s,蚀刻后须充分漂洗去除残余离子,玻璃无发蒙(30min 失重 <0.01%),含铟 / 锡废液按危废管理

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