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TGV 玻璃通孔蚀刻用什么药液？含氟路线和热碱路线怎么选？
按「飞秒激光改性 + 热碱选择性蚀刻」路线可用 GE-K1：110±5 ℃ 热碱液，改性区被选择性掏空成通孔，本体玻璃几乎不蚀，最直接的优势是不使用剧毒含氟酸（职业健康与废液管理负担显著更低）。
1两条主流路线的差异
含氟路线蚀刻能力强但剧毒管控与职业健康负担重；热碱路线在安全可控性、废液处理难度、现场 EHS 管理负担上优势明显，同时锥角表现良好（taper < 1°）。选型时把「安全与合规成本」纳入总成本对比，很多产线会因此先试热碱路线。
2GE-K1 工艺参数
体系为热碱型玻璃蚀刻体系，工作液有效碱约 40%；工作温度 110±5 ℃（浸泡工艺）；处理时间 10–60 分钟（依改性深度与目标孔径）；蚀刻速率 0.1–0.5 μm/min（6–30 μm/h）@110 ℃，取决于激光改性损伤度，需按客户激光参数实测标定；选择性表现为锥角 taper < 1°。
3适用与衔接
GS-K1 定位 TGV 玻璃通孔成孔，配合「飞秒激光改性 + 热碱选择性蚀刻」产线；与清洗剂、表面改质剂形成完整的成孔后处理链路。实际投产前建议按客户激光参数做速率标定与小批量试产。
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